Browsing by Author "Döğer, Hilal"

Now showing 1 - 1 of 1

A New Technique for Nanolithography Using Electrohydrodynamic Method and Argon Ion Etching Process
(İzmir Ekonomi Üniversitesi, 2021) Döğer, Hilal; Sağlam, Özge
Mikro ve nano yapı gerektiren cihazlar için çeşitli litografi teknikleri kullanılmaktadır. Günümüzde kullanılan litografi yöntemlerinde çok aşamalı prosesler veya yüksek maliyet sorunlarıyla karşılaşılabilmektedir. Çeşitli polimerlerden elde edilebilen ve yüksek elastikiyete sahip olan nanofiberler, cihaz geliştirmede sıklıkla kullanılmaktadır. Elektroeğirme yöntemi, nanofiberlerin istenilen kompozisyon ve çapta üretilebilmesi ve yakın mesafede kontrol edilerek desenlenebilmeleri nedeniyle, araştırmacılar tarafından sıklıkla tercih edilmektedir. Bu tezin amacı, elektrohidrodinamik yöntem ile üretilen nanofiberler ve argon iyon aşındırma işlemini kullanarak yeni bir tür nanolitografi tekniği geliştirmektir. İlk aşamada nanofiberler, termal buharlaştırma ile krom, gümüş ve altın ile kaplanmış silikon ve cam alttaşlar üzerine desenlendi. Sonrasında desenlenmiş yapılara sırasıyla argon iyon aşındırma ve polimer kaldırma işlemleri uygulanarak metalik desenler üretildi. Metalik desenlerin elektriksel karakterizasyonu, iki nokta ölçüm yöntemiyle gerçekleştirildi. Desenlerin morfolojisi, kaldırma işleminden önce ve sonra Atomik Kuvvet Mikroskobu ile elde edildi. Yapıların element analizi, Taramalı Elektron Mikroskobu-EDX ile yapıldı. Sistem parametrelerinin optimize edilmesiyle, nanofiberler ile alttaşlar üzerinde birbirine bağlı interdigitated yapıları içeren çeşitli metalik desenler başarılı bir şekilde üretildi. Sonuç olarak, nanofiberler önceki çalışmalarda kullanılmak için üretilirken, bu tezde nanofiberler bir araç olarak kullanılarak yeni bir nanolitografi yöntemi geliştirildi.